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      全自動晶圓盒FOUP清洗機模型

      2023年07月19日

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      專項研發雙流體旋轉噴射清洗方式,實現超微精密清洗,最佳節能設計;高效干燥技術,AMC 化合物去除技術全生產過程實時監控,兼容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300,符合SEMI S2、S8標準高產量,最優占地面積設計lv7中國模型網

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